CEIT

 

 

 

Desarrollo tecnológico de microsistemas físicos, microsistemas químicos y microestructuras para dispositivos ópticos integrados.

Investigación en nuevos materiales y nanotecnologías asociadas para aplicaciones en la sensorización.

Breve descripción de medios

Sala Blanca: 235 m2 en tres zonas Clase 100, 1000 y 10000. Capacidad para el procesado de silicio y materiales en película delgada. Procesos disponibles:

• Oxidación, Difusión, Deposición PVD (Sputtering) PECVD, LPCVD, Micromecanizado del silicio seco (RIE) y húmedo, Porosificación del silicio, Pegado electrostático ("Anodic Bonding"), Fotolitografía de doble cara, Cortado automático de obleas, Microsoldadura por ultrasonidos.

Caracterización de materiales y dispositivos

• Ensayos térmicos y climáticos, Eléctricos, Mecánicos, Magnéticos,

• Ensayos de fluidos: Gases y líquidos.

Caracterización biológica molecular

Microscopía Óptica , SEM, Feg-SEM, TEM y AFM.

Publicaciones / patentes / actividades relevantes

• D. Puente, S. Arana, F.J. Gracia, I. Ayerdi, “Thermal behaviour of freestanding microstructure by silicon frontside processing using porous silicon as sacrificial layer” IEEE Sensors Journal, 6, 548-556 (2006)

• G.Gª Mandayo, F. González, I. Rivas, I. Ayerdi, J. Herrán, “BaTiO3-CuO sputtered thin film for carbon dioxide detection” Sensors and Actuators B, 118, 305-310 (2006)
• N.Arana, D. Puente, I. Ayerdi, E. Castaño, J. Berganzo, “SU8 protective layers in liquid operating SAWs” Sensors and Actuators B, 118, 374-379 (2006)

• S.M. Olaizola, W.Fan, J-P. Wells, D. Mowbray, M. Skolnick, P. Parbrook, M. Fox, “Time-resolved photoluminescence studies of carrier diffusion in GaN” Applied Physics Letters 89-7 (2006)

• I.H. Brown, P. Blood, P.M. Smowton, J.D. Thomson, S.M. Olaizola, A.M.Fox, P.J. Parbrook, W.W. Chow, “Time Evolution of the Screening of Piezoelectric Fields in InGaN Quantum wells” IEEE Journal of Quantum electronics 42, 1202-1208 (2006)

• M. Mujika, S. Arana, E. Castaño, “Process temperature influence on sputtered nanoganular magnetoresistive composites” Journal of Magnetism and Magnetic Materials, aceptado para publicación

• J. Berganzo, G. Olabarria, R. Garcia, D. Verdoy, A. Rebollo, S. Arana, “DNA microdevice for electrochemical detection of of Escherichia coli O157:H7 molecular markers” Biosensors and Bioelectronics, aceptado para publicación

• N. Pérez, A. Hüls*, D. Puente *, W. González-Viñas **, E. Castaño, S.M. Olaizola, “Fabrication and characterization of silver inverse opals” Sensors and Actuators B, aceptado para publicación

• A.Sancho, Jon A. Etxeberria, F.J.Gracia, “Macroporous structures for the development of high capacitance silicon integrated microcapacitors” Microelectronics Engineering, aceptado para publicación

• Jon A. Etxeberria, F.J.Gracia, “Tunable MEMS Volume Capacitors for High Voltage Applications” Microelectronics Engineering, aceptado para publicación

• G. García-Mandayo, “Improved gas detection by tin oxide” aceptado para publicación como artículo invitado en “Sensor Letters”.

Miembros del grupo

Plantilla:

F. Javier Gracia Gaudó ( Dr. Ciencias Físicas )
Enrique Castaño Carmona ( Dr. Ciencias Físicas )
Isabel Ayerdi Olaizola ( Dr. Ingeniero Industrial )
S. Miguel Olaizola Izquierdo ( Dr. Ingeniero Industrial )
Gemma García Mandayo ( Ingeniero Industrial )
Sergio Arana Alonso (Dr. Ingeniero en Automática y Electrónica Industrial )
Gorka Muñoz Arrieta (Ingeniero Técnico)

Colaboradores:

Noemí Pérez (Ingeniera Electrónica)
Amaia Rebollo (Licenciada en Bioquímica)
Izaskun Alonso (Ingeniera Química )
Jon A. Etxeverría (Ingeniero en Automática y Electrónica Ind.)
Ana Sancho (Ingeniera en Automática y Electrónica Ind.)
Maite Mújica (Ingeniera Industrial )
Nerea Arana (Ingeniera en Automática y Electrónica Ind. )
Jaime Herran (Licenciado en Ciencias Físicas)
Maite Arezti (Licenciada en Ciencias Químicas)
Ainara Rodriguez (Ingeniera Telecomunicación)
Larraiz Añorga (Licenciada en Ciencias Biológicas)

Proyectos relacionados en curso

• Microsensor de glucosa basado en inmovilización de enzimas por electropolimerización

• Microsensor de dióxido de carbono basado en películas delgadas cerámicas (Proyecto CARBODOX)

• Generación de estructuras submicrométricas ordenadas de metales en dos y tres dimensiones

• Microcapacidades variables de silicio micromecanizado para aplicaciones en radiofrecuencia ( Proyecto miCAP)

• Microalmacenadores de energía capacitivos basados en silicio poroso

• Microelectrodos planos sobre sustratos poliméricos flexibles para implantes cocleares

• Prototipos de BIOCHIP para sensorización electroquímica

• Biosensor magnético basado en tecnología GMR granular

• Optimización del microsistema de medida del número de metano en el gas natural (Proyecto MINUMET)

• Microsistema para la evaluación de la degradación de aceites en motores y transformadores (Proyecto EVACE)

• Development of lithography technology for nanoscale structuring of materials using laser beam interference“ (Proyecto DELILA / STREP)