Grupo de Micro y Nano Tecnologías (MNT)

Luis Castañer - Ángel Rodríguez
Universidad Politécnica de Cataluña
Modulo C4 Campus Nord UPC,
Calle Jordi Girona 1,
Barcelona 08034

Teléfono: +34 934 016 773
FAX: +34 934 016 756

Objetivos y actividades
  • Investigación y desarrollo tecnológico en dispositivos MEMS sensores y actuadores. Principalmente en sensores de caudal y sensores gravimétricos así como fotodetectores de precisión.
  • Actuadores electrostáticos de aplicación en RF tanto para capacidades sintonizables como conmutadores.
  • Métodos eficaces de actuación modo corriente
Breve descripción de medios
  • Micromecanizado de superficie y de volumen
  • Soldadura de obleas depósito de capas estructurales
  • Tecnología convencional de silicio y SiC
Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes
  • Hernández, D. [et al.]. 3D metallo-dielectric structures combining electrochemical and electroplating techniques. "Microelectronic engineering", Juny 2010, vol. 87, núm. 5-8, p. 1458-1462.  <doi: 10.1016/j.mee.2009.11.108>
  • López, E. [et al.]. A million-channel reformer on a fingertip: Moving down the scale in hydrogen production. "International journal of hydrogen energy", Abril 2010, vol. 35, núm. 8, p. 3472-3479.  <doi: 10.1016/j.ijhydene.2010.01.146>
  • Valera, E.; Muñiz, D.; Rodriguez, A. Fabrication of flexible interdigitated ¿-electrodes (FID¿Es) for the development of a conductimetric immunosensor for atrazine detection based on antibodies labelled with gold nanoparticles. "Microelectronic engineering", Febrer 2010, vol. 173, núm. 2, p. 02/2010-167.  <doi: 10.1016/j.mee.2009.07.001> 
  • Valera, E.; Muñiz, D.; Rodriguez, A. Fabrication of flexible interdigitated mu-electrodes (FID mu Es) for the development of a conductimetric immunosensor for atrazine detection based on antibodies labelled with gold nanoparticles. "Microelectronic engineering", Febrer 2010, vol. 87, núm. 2, p. 167-173.  <doi: 10.1016/j.mee.2009.07.001>
  • Barrio, R. [et al.]. Surface recombination analysis in silicon-heterojunction solar cells. "Solar energy materials and solar cells", Febrer 2010, vol. 94, núm. 2, p. 282-286.  <doi: 10.1016/j.solmat.2009.09.017> 
  • Krautz, D. [et al.]. Interchain and intrachain emission branching in polymer light-emitting diode doped by organic molecules. "Applied physics letters", Gener 2010, vol. 96, núm. 3, p. 1-3.  <doi: 10.1063/1.3276271>  
  • Carvajal, J. [et al.]. New approaches for the fabrication of photonic structures of nonlinear optical materials. "Journal of luminescence", Desembre 2009, vol. 129, núm. SI:12, p. 1441-1447.  <doi: 10.1016/j.jlumin.2009.03.035>  
  • Dominguez, M. Energy efficiency of pulsed actuations on linear resonators. "IEEE transactions on circuits and systems I: regular papers", Desembre 2009, vol. 56, núm. 12, p. 2678-2688.  <doi: 10.1109/TCSI.2009.2016635> 
  • Schröter, M.; Lopez, J. Study of emitter width effects on BF, fT and fmax of 200 GHz SiGe HBTs by DD, HD and EB device simulation. "Semiconductor science and technology", Novembre 2009, vol. 24, núm. 11, p. 1-8.  <doi: 10.1088/0268-1242/24/11/115005>  
Miembros del grupo dedicados a MEMS

Luis Castañer, Angel Rodríguez, Joan Pons, Manuel Domínguez, Vicente Jiménez, Pablo Ortega, Francesc Masana, Sandra Bermejo

El grupo tiene 22 miembros. Las otras personas se dedican a otros dispositivos

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