19/09/17

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CEIT, Unidad de Microelectronica&Microsistemas, Universidad de Navarra

Contacto

Dr. Enrique Castaño
CEIT and Tecnun (Universidad de Navarra)
Manuel de Lardizábal 15 
20018 San Sebastián, España
Teléfono: +34 943212800
ecastano@ceit.es 
www.ceit.es

 

Miembros del Grupo

  • Enrique Castaño Carmona. Dr. Ciencias Físicas
  • Isabel Ayerdi OlaizolaDra. Ing. Industrial
  • Santiago M. Olaizola Izquierd. Dr. Ing. Industrial
  • Gemma García Mandayo. Dra. Ing. Industrial
  • Sergio Arana Alonso, Dr. Ing. Automática y Electrónica                    
  • Noemí PérezDra. Ing. Electrónica 
  • Maite MujikaDra. Ing. Industrial
  • Irene CastroLcd. Ciencias Físicas
  • Patricia Ansorena.Ing. Bio-Química
  • Jacobo ParedesIng. industrial
  • Txaber TaveraIng. Eléctrico
  • Gorka Muñoz Arrieta. Ing. Técnico Químico
  • María del Carmen Fuentes. Master in Biomedical Engineering
  • Ana Zuzuarregui Ing. Químico
  • Oihana Moreno. Master in Biomedical Engineering
  • Alex ArriolaIng. Telecomunicación
  • Mikel Gómez Master in Biomedical Engineering
  • Lander RojoIng. Telecomunicación
  • Jurgi Gonzalez de Txabarri. Ing. Telecomunicación
  • Ainara Benavente. Master in Biomedical Engineering
  • Sheila Becerro. Master in Biomedical Engineering
 

Líneas de Investigación

  • La Unidad de Microelectrónica y Microsistemas trabaja principalmente en el diseño y desarrollo de microsistemas es decir, cualquier dispositivo miniaturizado, de bajo costo, altamente integrado y multifuncional si diseñado para medir una magnitud física, química o biológica o para supervisar y controlar un proceso industrial. En la actualidad, la Unidad se centra su trabajo en tres líneas principales de investigación con el fin de ofrecer una amplia cartera al sector industrial y garantizar la solución de los problemas tecnológicos complejos.
     
  • Micro y nanosistemas: incluyendo microsensores magnéticos basados ​​en magnetoresistances gigantes y colosales, sensores de calidad de fluidos para análisis en línea de la degradación de los lubricantes y aceites aislantes o determinar el número de metano del gas natural, sensores de gas basados ​​en materiales nanoestructurados y RF micro-electro-sistemas mecánicos (RFMEMS).
  • Biologic Microsystems: las investigaciones que se están llevando a cabo en esta área se vinculan a microfluidos y microinstrumentation analítica. Los sistemas desarrollados integran microestructuras y sensores para detectar compuestos biológicos (BioMEMS) y proporcionar análisis genómico (chips de ADN), utilizando principalmente métodos no ópticos como voltametría cíclica o detección inmunomagnetic.

 

  • Optoelectrónica Microsystems: en esta zona la fabricación, caracterización y aplicaciones de la fotónica Nano / Microestructuras (cristales fotónicos) ordenados se estudia incluyendo la exploración fundamental de múltiple haz interferencias nanolitografía y sus capacidades.

 

Equipamiento

La instalación más importante de la Sección de Microelectrónica y Microsistemas es la sala limpia. Esta instalación se divide en 4 salas de diferentes clasificaciones, 10.000, 1.000 y 100 de clase. Todos los procesos de la microelectrónica se han completado en la sala limpia.

El equipo que se instala en la sala limpia se describe a continuación:

  • 2 Sputtering systems PVD: EDWARDS & PFEIFFER
  • Plasma-lab Oxford PECVD
  • ATV LPCVD
  • Plasma-lab Oxford RIE
  • UV photolithography and double side mask aligner
  • Spinning system for photo-resist deposition
  • Three Ovens: P and N diffusion, thermal oxidation and annealings
  • Silicon Micromachining Wet Bench 
  • Porous Silicon Wet Bench
  • Anodic Bonding System 
  • Wafer dicing 
  • Kulicke & Soffa series 4500 Wire Bonder

CEIT

 

Proyectos

  • Sensores de dióxido de carbono fabricados con nanomateriales sobre estructuras micro-nano mecanizadas: El objetivo de este proyecto es el uso de las micro/nanotecnologias para el desarrollo de nuevos sensores de estado sólido de CO2 enfocándose el trabajo en la síntesis de nuevos materiales con alta sensibilidad al CO2 (control de la formación del nanopartículas y de nanoestructuras más complejas tales como nanotubos y nanoredes). La evaluación del mecanismo de detección del gas y su correlación con las características estructurales se realiza en función de la identificación de los sitios preferenciales para la adsorción superficial de la molécula, la reactividad de la especie en la superficie del material de detección y la formación de carbonatos.
     
  • Desarrollo de tecnología litográfica para la nanoestructuración de materiales usando interferometría láser (DELILA): El objetivo de DELILA es desarrollar la tecnología de nanolitografía por interferencia láser con un foco claro en su uso industrial. Este hecho ayudaría a una rápida implementación de las nanociencias y a su explotación industrial inmediata. Las principales características ventajosas del sistema de DELILA son la fabricación de nanoestructuras y nanodispositivos con alta resolución (menor de 40 nanómetros), proceso “maskless”, y un bajo costo y alta eficiencia comparada con otras tecnologías litográficas.
     
  • Sistema de detección de bajo campo magnético basado en GMRs granulares para identificar hibridaciones estereoespecificas biomoleculares:  La meta principal de este proyecto es el diseño y la fabricación de un biosensor capaz de detectar variaciones pequeñas de bajos campos magnéticos. Está basado en películas delgadas magnetorresistivas gigantes granulares (GMR). Este desarrollo permite la detección y cuantificación específica de un patógeno llamado Escherichia coli 0157: H7 en muestras alimentarias y usos clínicos. Este biosensor es encapsulado en un dispositivo con la circuitería microfluídica necesaria y que provee todos los productos químicos posibilitando la realización de los análisis de una forma precisa y repetible.

 

Publicaciones

Yu.K. Verevkin, V.N. Petryakov, Yu.Yu. Gushchina, C.S. Peng, C. Tan, M. Pessa, Z. Wang, S.M. Olaizola, S. Tisserand 
“Sub-20 nm island self-organisation stimulated by spatially periodic laser exposure in the GaAs/InGaAs/GaAs epitaxial system"
Quantum Electronics 40 (1) 73 ë 76 (2010).

L. Añorga, A. Rebollo, J. Herrán, S. Arana, E. Bandrés, J. García-Foncillas “Development of a DNA electrochemical biosensor for CEACAM5 detection"
IEEE Sensors Journal 10 (8), 1368-1374 (2010).

C Tan, C S Peng, Ainara Rodriguez, M Pessa, V N Petryakov, Yu K Verevkin, J Zhang, Z Wang, S M Olaizola, T Berthou and
S Tisserand “Laser interference nano-lithography"
Advances in Nanotechnology IV ISBN 978-1-61668-618-5 (2010).

J. Herrán*, O. Fernández-González, I. Castro-Hurtado, T. Romero, G. Gª Mandayo, E. Castaño 
“Photoactivated solid state gas sensor for CO2 detection at room temperature"
Sensors and Actuators B 149 (2010) 368–372.

I. Castro, J. Herrán, N. Perez, S.M. Olaizola,G. Gª Mandayo, E. Castaño “Toxic gases detection by NiO sputtered thin films"
Sensor Letters 9, 1-5 (2011).

P. Ansorena,  A. Zuzuarregui, E. Pérez-Lorenzo, M. Mujika and S. Arana. “Comparative analysis of QCM and SPR techniques for the optimization of immobilization sequences” 
Sensors & Actuators B 155, 667-672 (2011).

A. Manteca, M. Mujika, S. Arana. 
“Development of a novel method for the specific capture and magnetoresistive detection of food pathogens” 
Biosensors & Bioelectronics 26, 3705-3709 (2011).

A. Neels, L. de Abreu Vieira, M. Döbeli, A. Dommann, J. Herrán, F. Neff, B. Widrig, H. Brändle and J. Ramm. 
“Formation of cubic zirconia by reactive arc evaporation in a mixture of nitrogen-oxygen reactive gas” 
Advanced Engineering Materials 13, 87–92 (2011).

N. Pérez, A. Rodríguez and S. M. Olaizola.
“Chapter 3: Patterning and optical properties of materials at the nanoscale” Fabrication and Characterization in the Micro-Nano Range, New Trends for two and three Dimensional Structures, Springer-Verlag GmbH, Series: Advanced Structured Materials, Vol. 10, Lasagni, Fernando A.

G. Gª Mandayo, J. Herrán, I. Castro-Hurtado, E. Castaño.
“Performance of CO2 impedimetric sensor prototype for air quality monitoring” Sensors 11, 5047-5057 (2011).

I. Castro-Hurtado*, J. Herrán,  G. G. Mandayo, E. Castaño
“Studies of the structural properties and thickness influence of NiO thin films on formaldehyde detection”
Thin Solid Films 520, 947-952, (2011).

T. Tavera, N. Pérez, A. Rodríguez, P. Yurrita S.M. Olaizola and E. Castaño
“Periodic patterning of silicon by nanosecond laser interference lithography”
Applied Surface Science 258, 1175-1180 (2011).

N. Pérez, F. J. Sanza,  A. Rodríguez, S. M. Olaizola
“Dependence of the order and crack density of polystyrene opals on volume fraction, humidity and temperature”
Crystal Research and Technology 46, 1044–1050 (2011).

 

CEIT

Nanoestructuras fabricadas usando litografía por interferencia láser





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