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G+: Grupo de Microsistemas. Actuadores y Sensores - (Microsystems Actuators and Sensors Group). Univ. de Castilla - La Mancha, Ciudad Real
Contacto
Jos Luis Snchez de Rojas Aldavero
Universidad de Castilla-La Mancha ETSI Industriales, Campus Universitario, 13071, Ciudad Real (Espaa) Telfono:926/295300 Fax: 926/295361
[email protected]
www3.uclm.es/etsii-cr/grupos-de-investigacion
Miembros del grupo
- Prof. Jos Luis Snchez de Rojas
- Prof. Jorge Hernando
- Prof. Javier Vzquez
- Dr. Marta Gil Barba
- Dr. Alberto Octavio Manzanares
- Toms Manzaneque
- Victor Ruiz Dez
- Mara Jess Oliver
- Francisco Jimenez Mrquez
- Javier Toledo Serrano
Objetivos y actividades
- Diseo, caracterizacin y aplicaciones de Sistemas Micro/Nano-electromecnicos (MEMS/NEMS).
- MEMS piezoelctricos.
- Sensores y transductores integrados y miniaturizacin de instrumentacin orientados a aplicaciones diversas como qumica, biotecnologa y tecnologa de los alimentos.
Breve descripcin de medios
- CAD comercial y propio para el diseo de microsistemas
- Instrumentacin para la caracterizacin elctrica: impedancias, electroqumica, funciones de transferencia, amplificacin, anlisis de redes, procesado de seales, etc.
- Instrumentacin para la caracterizacin de MEMS en esttica y dinmica hasta 240 MHz.
- Tcnicas para la funcionalizacin qumica de superficies
- Sala Blanca de 30 m2, clase 1000, con:
- Sistema sputtering de deposicin de metales y aislantes
- Sistema de nanolitografia nanoimprint.
- Caja de manipulacin con atmosfera inerte
Proyectos relacionados recientes:
- DESARROLLO DE SISTEMAS MINIATURIZADOS PARA LA MONITORIZACIN DE PROPIEDADES DE LQUIDOS: APLICACIN A VINO Y ACEITE. Ref. DPI2012-31203. Duracin: 3 aos.
INVESTIGADOR/A PRINCIPAL:JOSE LUIS SANCHEZ DE ROJAS ALDAVERO
- “DISEO Y CARACTERIZACIN DE MICROSENSORES MEMS RESONANTES PARA OPERAR EN MEDIO LQUIDO” REF. DPI2009-07497
DURACIN: 3 AO/S: 2010/2012 IP: JOS LUIS SANCHEZ DE ROJAS ALDAVERO
- “Sistemas Microelectromecnicos para la automatizacin, miniaturizacin y desarrollo de nanotecnologas”. Ref. PCC08-0015-0722. Proyecto coordinado con el Dpto. de Qumica Analtica de la Universidad de Castilla-La Mancha. Duracin 2008-2010.
I.P. Jos Luis Snchez de Rojas
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Referencia Proyecto: DPI2006-01923. Ministerio de Educacin y Ciencia. 2006-2009. I.P. Jos Luis Snchez de Rojas
- “Diseo y caracterizacin de MEMS para sensores y anlisis qumicos”
PAC-05-001-2. Proyecto coordinado con el Dpto. de Qumica Analtica de la Universidad de Castilla-La Mancha. Duracin 2005-2007. I.P. Jos Luis Snchez de Rojas
- ‘Biochips de ADN con control electrnico’. DPI2003-02221. Duracin 2003-2005.
I.P. Jos Luis Snchez de Rojas
Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes
- A. Ababneh, M. Alsumady, H. Seidel, T. Manzaneque, J. Hernando-Garca, J.L. Snchez-Rojas, A. Bittner, U. Schmid
C-axis orientation and piezoelectric coefficients of AlN thin films sputter-deposited on titanium bottom electrodes. Applied Surface Science 259 (2012) 59– 65.
- F. Jimnez-Mrquez, J. Vzquez, J. beda, J.L. Snchez-Rojas.
Low-cost and portable refractive optoelectronic device for measuring wine fermentation kinetics. Sensors and Actuators B 178 (2013) 316– 323.
- D. Matatagui, J. Fontecha, M.J. Fernandez, M.J. Oliver, J. Hernando-Garcıa, J.L. Sanchez-Rojas, I. Gracia, C. Cane, J.P. Santos, M.C. Horrillo,
Comparison of two types of acoustic biosensors to detect immunoreactions: Lovewave sensor working in dynamic mode and QCM working in static mode, Sensors and Actuators B: Chemical (2013), doi:10.1016/j.snb.2013.02.003.
- V Ruiz-Dez, T Manzaneque, J Hernando-Garca, A Ababneh, M Kucera, U Schmid, H Seidel and J L Snchez-Rojas
Design and Characterization of AlN-Based In-plane Microplate ResonatorsJ. Micromech. Microeng. 23 (2013) 074003. doi:10.1088/0960-1317/23/7/074003.
- D. Ruiz J.C. Bellido A. Donoso J.L. Sanchez-Rojas.
Design of in-plane piezoelectric sensors for static response by simultaneously optimizing the host structure and the electrode profile Structural and Multidisciplinary Optimization DOI 10.1007/s00158-013-0923-8.
- M. Gil, T. Manzaneque, J. Hernando-Garca, A. Ababneh, H. Seidel, J. L. Snchez-Rojas
Multimodal characterisation of high-Q piezoelectric micro-tuning forks. IET Circuits Devices Syst., pp. 1–7 1. doi: 10.1049/iet-cds.2012.0325
- M Kucera, T Manzaneque, J L Sanchez-Rojas, A Bittner and U Schmid
Q-factor enhancement for self-actuated self-sensing piezoelectric MEMS resonators applying a lock-in driven feedback loop J. Micromech. Microeng. 23 (2013) 085009 doi:10.1088/0960-1317/23/8/085009
- T. Manzaneque, J. Hernando, L. Rodrguez-Aragn, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, J.L. Snchez-Rojas "Analysis Of The Quality Factor Of AlN-Actuated Micro-Resonators In Air And Liquid"
Microsystem Technologies 16, 837-845 (2010).
- J. Hernando, J.L. Snchez-Rojas, U. Schmid, A. Ababneh, G. Marchand, H. Seidel
Characterization and displacement control of low surface-stress AlN-based piezoelectric micro-resonators. Microsystem Technologies 16, 855-861 (2010).
- Jordi Ricart, Joan Pons-Nin, Elena Blokhina, Sergi Gorreta1, Jorge Hernando, Tomas Manzaneque, Jose Luis Sanchez-Rojas, Orla Feely, Manuel Dominguez.
- Control of MEMS vibration modes with Pulsed Digital Oscillators: Part II — Simulation and experimental results.
IEEE Transactions on Circuits and Systems I 57, 1879-1890 (2010).
- R. Paul Wali, Paul R. Wilkinson, Sarayoot Paul Eaimkhong, Jorge Hernando-Garcia, Jose Luis Snchez-Rojas, Abdallah Ababneh, James K. Gimzewski
Fourier transform mechanical spectroscopy of micro-fabricated electromechanical resonators: A novel, information-rich pulse method for sensor applications Sensors and Actuators B: Chemical 147, 508-516 (2010).
- J. L. Sanchez-Rojas, J. Hernando, A. Donoso, J. C. Bellido, T. Manzaneque, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid
Modal optimization and filtering in piezoelectric microplate resonators J. Micromech. Microeng. 20 (2010) 055027 (7pp)
- A. Ababneh, U.Schmid, J.Hernando, J.L.Snchez-Rojas, H.Seidel
The influence of sputter deposition parameters on piezoelectric and mechanical properties of AlN thin films Materials Science and Engineering B 172, 253-258 (2010).
- T. Manzaneque, J. Hernando-Garca, A. Ababneh, P. Schwarz, H. Seidel, U. Schmid, J. L. Snchez-Rojas,
“Quality-factor amplification in piezoelectric MEMS resonators applying an all-electrical feedback loop” Journal of Micromechanics and Microengineering 21 (2011) 025007
- M. J. Oliver, J. Hernando-Garca, P. Pobedinskas, K. Haenen, A. Ros, J. L. Snchez-Rojas,
“Oxidized chromium thin films as a reusable platform for immunosensing” Colloids and Surfaces B: Biointerfaces 88 (2011) 191– 195
- M. Gil, T. Manzaneque, J. Hernando-Garca, A. Ababneh, H. Seidel, J. L. Snchez-Rojas.
“Selective modal excitation in coupled piezoelectric microcantilevers” Microsyst. Technol. DOI 10.1007/s00542-011-1411-y. pp 1-9, 2012
- Ruiz V., Hernando-Garca J., Ababneh A., Seidel H., Schmid U., Snchez-Rojas J. L.
"Modelling and characterization of AlN-actuated microcantilevers vibrating in the first in-plane mode" Microsyst Technol. DOI 10.1007/s00542-012-1428-x
- M. J. Oliver, J. Hernando-Garca, A. Ababneh, H Seidel, U. Schmid, J. P. Andrs, P. Pobedinskas, K. Haenen, and J. L. Snchez-Rojas
“Resonantly Excited AlN-based Microcantilevers for Immunosensing” Microsyst Technol. DOI 10.1007/s00542-012-1444-x
- T. Manzaneque, V. Ruiz, J. Hernando-Garca, A. Ababneh, H. Seidel et al.
“Characterization and simulation of the first extensional mode of rectangular micro-plates in liquid media” Appl. Phys. Lett. 101, 151904 (2012); doi: 10.1063/1.4758470
comb-drive accelerometer compared with the head of an ant
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