Grupo de Microsistemas y Tecnologías de Silicio

Centro Nacional de Microelectrónica.
Instituto de Microelectrónica de Barcelona. CSIC

 

Carles Cané o Joan Bausells
Campus UAB. 08193 Bellaterra, (Barcelona)

Teléfono: +34 935 947 700
FAX: +34 935 801 496
 

Objetivos y actividades:

  • Desarrollo e Investigación en tecnologías microelectrónicas para dispositivos electrónicos, sensores, actuadores, microsistemas y nanotecnologías

 

Breve descripción de medios

  • Laboratorios de fabricación de circuitos integrados CMOS y dispositivos microelectrónicos (Sala Blanca)
  • Laboratorio de Microsistemas para micormecanizado de silicio en volumen y superfície
  • Laboratorio de Caracterización eléctrica de dispositivos
  • Calibradores de sensores de presión
  • AFM, e-lectron beam para nanotecnologías

 

Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes:

1.Silicon wafer oxygenation from SiO2 layers for radiation hard detectors. Microelectronics reliability
L.Fonseca et al
vol 40, 791-794. 2000

2. Optimized technology for the fabrication of piezoresistive pressure sensors
A. Merlos et al
Journal of Micromechanics and Microengineering, vol 10, 204-208 (2000)

3. Twin-mass accelerometer optimization to reduce the package stresses
J.A.Plaza et al
Sensors and Actuators A, vol.80, 199-207 (2000)

4. The use of ferrofluidics in micromechanics
R.Pérez-Castillejos et al
Sensors and Actuators A, vol84, 176-180 (2000)

5. On-line detection of gases with arrays of optimised micromachined tin-oxide gas sensors
C.Cané et al
Sensors and Actuators B, vol 65, 244-246 (2000)
 

 

Miembros del grupo

Doctores:

Acero M.Cruz, Bausells Joan, Cabruja Enric, Campabadal Francesca, Cané Carles, Esteve Jaume, Figueras Eduard, Fonseca Luis, Gracia Isabel, Key Martin, Lozano Manuel, Plaza José Antonio, Rafí Joan Marc, Ullán Miguel,

No-Doctores:

Aguilera Lidia, Collado Ana, Duch Marta, Fleta Celeste, López Ma Jesús, Martínez Carlos, Morata Marta, Pérez Raquel, Sabaté Neus, Zine Nadia

 

Proyectos relacionados en curso:

  • ISIS : Integración de sistemas inteligentes para seguridad. (PN-TEC TEC2007-67962- C04-01); 

    Investigador principal:Carles Cané Ballart

    Inicio: 01-10-2007, final: 30-09-2010. 

  • MICAELA : Pilas de combustible basadas en microtecnología para aplicaciones de ambiente inteligente y de baja potencia. (MICINN-DG Programas y Transferencia de conocimiento PN-TEC TEC2009-14660- C02-01).

    Investigador principal: Mª Neus Sabaté Vizcarra

    Inicio: 01-01-2010, final: 31-12-2012.

  • NANOTERM. Estudio de la viabilidad de microgeneradores termoeléctricos basados en nanohilos de silicio. (TEC2008-03255-E/TEC. Explora-Ingenio).

    Investigador principal: Alberto Tarancón.

    Inicio: 18-8-2009, final: 17-8-2010.

  • CEPoSS : Coordination and Implementation of an European Strategy on Smart Systems Technologies. (Unión Europea FP7-ICT-2007-2 NPM4-SL-2008-224559). 

    Investigador principal: Luís A. Fonseca Chácharo

    Inicio: 01-06-2008, final 31-12-2010.

  • SGR-MNT : Grup de Recerca Micro i Nanotecnologia. (Generalitat de Catalunya SGR-GRC. SGR 2009-228). 

    Investigador principal: Francesca Campabadal Segura.

    Inicio: 01-01-2009, final: 31-12-2013.

Otros Proyectos:

(Nombre / Tipo / Referencia)

  • ATLAS / CICYT / FAN
  • ACELEROMETROS / Contrato / D+T
  • AUTODOOR / Eureka / EM-45
  • CIRRUS / EC / IST-1999-10023
  • COMPETE / EC / EC-BETC-1013
  • DEAR MAMA / EC / EC-QLRT-2000-01318
  • GLASSGAS / EC / IST-1999-19003
  • JAMOTRON / FEDER / TIC-1FD97-0723
  • MCM_D / CICYT / TIC-99-0846
  • MEMSOI-EP / EC / IST-1999-11840
  • MICROAIRE / FEDER / TIC-2FD97-1894
  • MICROBIOL / EC / IST-2001-33011
  • MICROBOILER / Eureka / EM-46
  • NANOBIONEC / CICYT / DPI-2000-0703
  • NANOMASS / EC / IST-2001-33068
  • NORMIC-EP / EC / IST-1999-11832
  • NOVAGAS / CICYT / TIC-2001-CE
  • PARTMAG / CICYT / MAT-2000-0136
  • SCTESP / CICYT / FPA-2000-1560
  • SIRYO / CICYT / TIC-98-0987
  • TANGO / CICYT / TIC-2000
  • TEESP / CICYT / DPI-2000-0160