G+: Grupo de Microsistemas, Actuadores y Sensores

Objetivos y actividades:

Breve descripción de medios

• CAD comercial y propio para el diseño de microsistemas
• Instrumentación para la caracterización eléctrica: impedancias, electroquímica, funciones de transferencia, amplificación, procesado de señales, etc.
• Instrumentación para la caracterización de MEMS en estática y dinámica.
• Técnicas para la funcionalización química de superficies

Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes:

J. Olivares, J. Malo, S. González, E. Iborra, I. Izpura, M. Clement, A. Sanz Hervás, J. L. Sánchez-Rojas, P. Sanz
“Tunable mechanical resonator with aluminium nitride piezoelectric actuation”
MEMS, MOEMS, and Micromachining II, Proceedings of the SPIE vol. 6186 (2006) pp. 61860K-1-12

Javier Vazquez , Pablo Sanz, Jose Luis Sanchez-Rojas
Behaviour of forbidden modes in the impedance characterization and modeling of piezoelectric microcantilevers
Sensors and Actuators A, Volumen 136, Páginas 417- 425, (2006)

P Sanz, J Hernando, J Vázquez and J L Sánchez-Rojas
Laser vibrometry and impedance characterization of piezoelectric microcantilevers
Journal of Micromechanics and Microengineering. Vol.17, Páginas 931- 937, (2007)

Sanz-Gonzalez P, Hernando J, Vazquez J, Sanchez-Rojas JL
Resonance frequencies and modal shape characterization of piezoelectric microcantilevers - art. no. 65890L
Smart Sensors, Actuators, and MEMS III Book Series: PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) Volume: 6589 Pages: L5890-L5890 Published: 2007

Plata MR, Hernando J, Zougagh M, Sanchez-Rojas JL et al.
Characterization and analytical validation of a microcantilever-based sensor for the determination of total carbonate in soil samples
SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL Volume: 134 Issue: 1 Pages: 245-251 Published: AUG 28 2008

Hernando J, Sanchez-Rojas JL, Gonzalez-Castilla S, et al.
Simulation and laser vibrometry characterization of piezoelectric AIN thin films
Source: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS Volume: 104 Issue: 5 Article Number: 053502 Published: SEP 1 2008

U. Schmid, J. L. Sánchez-Rojas
Piezoelectric Properties of Sputtered AlN Thin Films and Their
Applications
Advances in Science and Technology Vol. 54 (2008) pp 41-49

J. Vázquez, M.A. Rivera, J. Hernando, J.L. Sánchez-Rojas
Dynamic response of low aspect ratio piezoelectric microcantilevers actuated in different liquid environments
Journal of Micromechanics and Microengineering
Volumen: 19 Páginas, inicial: 015020 final: (9pp)Fecha: 28-11-2008
Lugar de publicación: Bristol, Reino Unido

Javier Vázquez, José Luis Sánchez-Rojas
DNA accumulation on single-anode microelectrode structures and its application in active microarray layout design
Revista: Current Applied Physics
Volumen: 9 Páginas, inicial: 333 final: 345 Fecha: 29-03-2008
Lugar de publicación: Ámsterdam, Holanda

jose-luis sanchez-rojas, Jorge Hernando, Abdallah Ababneh, Ulrich Schmid, Jimena Olivares, Marta Clement, Enrique Iborra
Advanced Determination of Piezoelectric Properties of AlN Thin Films on Silicon Substrates
IEEE Transactions Ultrasonics. Digital Object Identifier (DOI): 0.1109/ULTSYM.2008.0218; pp.903-906.

Sanchez-Rojas, J.L.; Hernando, J.; Donoso, A.; Bellido, J.C.; Gutierrez, L.M.; Ababneh, A.; Seidel, H.; Schmid, U.;
Piezoelectric modal sensors/actuators based on microplates applying surface electrode patterning.
Proceedings Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2009. TRANSDUCERS 2009. International
21-25 June 2009 Page(s):2346 - 2349
Digital Object Identifier 10.1109/SENSOR.2009.5285443

J. Hernando, J.L. Sánchez-Rojas, A. Ababneh, H. Seidel, Ü. Söekmen, E.Peiner, U. Schmid.
“Characterization and simulation of high-quality AlN-actuated resonant suspended beams”,
Proc. SPIE, Vol. 7362, 73620K (2009); doi:10.1117/12.821636.

T. Manzaneque, J. Hernando, J. Rodríguez-Aragón, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, J.L. Sánchez-Rojas.
“Analysis of the quality factor of piezoelectric-actuated micro-resonators”,
Proc. SPIE, Vol. 7362, 73620A (2009); doi:10.1117/12.821651.

M. J. Oliver, J. Hernando, J. Olivares, M. Clement, A. Ababneh, U. Schmid, J.L: Sánchez-Rojas.
“Sputtered polycrystalline AlN as a platform for biofunctionalized devices”,
Proc. SPIE, Vol. 7362, 736208 (2009); doi:10.1117/12.821653.

A. Ababneh, G. Marchand, H. Seidel, J. Hernando, J.L. Sánchez-Rojas, Ü. Söekmen, E.Peiner, U. Schmid.
“Comparison between AlN thin films with different crystal orientations for MEMS applications”,
Proc. SPIE, Vol. 7362, 73621N (2009); doi:10.1117/12.821858.

T. Manzaneque, J. Hernando, L. Rodríguez-Aragón, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid and J. L. Sánchez-Rojas
"Analysis Of The Quality Factor Of AlN-Actuated Micro-Resonators In Air And Liquid"
Microsystem Technologies, DOI 10.1007/s00542-009-1003-2. Springer. 2009

J Hernando1, J L Sánchez-Rojas1, U Schmid2, A Ababneh3, G Marchand3 and H
Seidel3
Characterization and displacement control of low surface-stress AlN-based piezoelectric micro-resonators.
Microsystem Technologies, DOI 10.1007/s00542-009-1015-y. Springer. 2009.

Miembros del grupo

José Luis Sánchez de Rojas
Jorge Hernando
Javier Vázquez

Proyectos relacionados en curso

•  “DISEÑO Y CARACTERIZACION DE MICROSENSORES MEMS RESONANTES PARA OPERAR EN MEDIO LIQUIDO” REF. DPI2009-07497
  DURACIÓN: 3 AÑO/S: 2010/2012
  IP: JOSE LUIS SANCHEZ DE ROJAS ALDAVERO
   
• “Sistemas Microelectromecánicos para la automatización, miniaturización y desarrollo de nanotecnologías”. Ref. PCC08-0015-0722. Proyecto coordinado con el Dpto. de Química Analítica de la Universidad de Castilla-La Mancha. Duración 2008-2010.
  I.P. José Luis Sánchez de Rojas
   
• “Desarrollo de un array de microbalanzas piezoelectricas de AlN basado en MEMS para aplicaciones biologicas”
  Referencia Proyecto: DPI2006-01923. Ministerio de Educación y Ciencia.
  2006-2009.
  I.P. José Luis Sánchez de Rojas
   
• “Diseño y caracterización de MEMS para sensores y análisis químicos”
  PAC-05-001-2. Proyecto coordinado con el Dpto. de Química Analítica de la Universidad de Castilla-La Mancha.
  Duración 2005-2007.
  I.P. José Luis Sánchez de Rojas
   
• ‘Biochips de ADN con control electrónico’
  DPI2003-02221. Duración 2003-2005.
  I.P. José Luis Sánchez de Rojas