Grupo de Micro y Nano Tecnologías (MNT)
Universidad Politécnica de Barcelona
Modulo C4 Campus Nord UPC,
Calle Jordi Girona 1,
Barcelona 08034
Telefóno: +34 934 016 773
FAX: +34 934 016 756
Objetivos y actividades:
- Investigación y desarrollo tecnológico en dispositivos MEMS sensores y actuadores. Principalmente en sensores de caudal y sensores gravimétricos así como fotodetectores de precisión.
- Actuadores electrostáticos de aplicación en RF tanto para capacidades sintonizables como conmutadores.
- Métodos eficaces de actuación modo corriente
Breve descripción de medios
- Micromecanizado de superficie y de volumen
- Soldadura de obleas depósito de capas estructurales
- Tecnología convencional de silicio y SiC
Publicaciones / Patentes / Actividades relevantes:
L.Castañer; S.D.Senturia: Speed-energy optimization of electrostatic actuators based on pull-in. IEEE Jour. of Microelectromechanical systems (JMEMS), Vol. 8, No. 3, pp 290-298, Sept 1999.
L. Castañer; A. Rodríguez; J. Pons and S.D. Senturia: Pull-in time-speed product of electrostatic actuators: comparison of experiments with simulation. Sensors and Actuators: Physical A, Vol. 83/1-3, pp. 264-270, May 2000.
L. Castañer; J. Pons; R. Nadal-Guardia; A. Rodríguez: Analysis of the extended operation range of electrostatic actuators by current-pulse drive, Sensors and Actuators: Physical A, Vol. 90 nº3, pp 181-190, May 2001
P. Ortega; S. Bermejo; L. Castañer: Multichip module photovoltaic miniarrays, IEEE Trans. on Advanced Packaging, vol 24 no. 2, pp. 169-174, May, 2001
M. Dominguez; F. Masana; V. Jiménez; S. Bermejo; J. Amirola; J. Ballester; N. Fueyo; L.Castañer: Thermal Sigma-delta low cost air flowmeter. IEEE Journal of Sensors, submitted
J. Pons; A. Rodríguez; L. Castañer: Voltage and pull-in time in current drive of electrostatic actuators, JMEMS, accepted
R. Nadal-Guardia, A. Dehé, R. Aigner, L. Castañer: Current Drive Methods to Extend the Range of Travel of Electrostatic Microactuators Beyond Pull-In, JMEMS accepted
Calderer,-J.; Molinas,-P.; Sueiras,-J.; Llobet,-E.; Vilanova,-X.; Correig,-X.; Masana,-F.; Rodriguez,-A.: Synthesis and characterisation of metal suboxides for gas sensors. Microelectronics-Reliability, vol. 40/4-5, pp. 807-810, UK, mayo 2000.
Castañer; J. Pons; R. Nadal; A. Rodríguez: Analysis of the extended operation range of electrostatic actuators by current- pulse drive. Sensors and Actuators A: Physical, vol. A90(3), pp. 181-190, UK, mayo 2001.
Pons-Nin,-J.; Rodriguez,-A.; Castaner,-L.-M.: Voltage and pull-in time in current drive of electrostatic actuators. Journal-of-Microelectromechanical-Systems. Vol. 11(3), pp. 196 - 205, USA, junio 2002.
L.F. Marsal; T.Trifon; A. Rodríguez; J. Pallarés; R. Alcubilla: Larger absolute photonic bandgap in two-dimensional air-silicon structures, Physica-E, Vol. 16 No. 3-4, pp. 580 - 585 Fecha, UK, marzo 2003.
Trifonov T.; Marsal l.F; Rodríguez A.; Pallarès J.; Alcubilla R.: Fabrication of two and three-dimensional photonic crystals by electrochemical etching of silicon, Physica Status Solidi C, Vol. 2 nº 8, pp. 3104 - 3107, Alemania, mayo 2005.
Trifonov T.; Rodríguez A.; Servera F; Marsal l.F.; Pallarès J.; Alcubilla R.: High aspect ratio silicon dioxide pillars, Physica Status Solidi (A) Applied research, Vol. 202 nº8, pp. 1634 - 1638 Fecha, Alemania, junio 2005.
A. Rodriguez; D. Molinero; E. Valera; T. Trifonov; L.F. Marsal; J. Pallarès and R. Alcubilla: Fabrication of Silicon Oxide Microneedles from Macroporous Silicon, Sensors and Actuators B, Vol. 109 No. 1, pp. 135 - 140 Fecha, Ed. Elsevier, 2005.
Jorge Amírola; Angel Rodríguez; Luis Castañer; J. P. Santos; J. Gutiérrez; M.C. Horrillo: Micromachined silicon microcantilevers for gas sensing applications with capacitive read-out, Sensors and Actuators, B: Chemical, Vol. 111-112, n SUPPL, pp. 247 - 253, Ed. Elsevier, Alemania, noviembre 2005.
S. Cheylan; T. Trifonov; A. Rodriguez; L. F. Marsal; J. Pallares; R. Alcubilla; G. Badenes: Visible light emission from macroporous Si, Optical Materials, Vol.29 issues 2-3, Elsevier, pp. 262 - 267, Ed. Elsevier, 2006.
A. Peña; S. Di Finizio; T. Trifonov; J. J. Carvajal; M. Aguiló; J. Pallarès; A. Rodriguez; R. Alcubilla; L. F. Marsal; F. Diaz and Jordi Martorell: Two dimensional KTiOPO4 photonic crystal grown within the air holes of a porous Silicon mask, Advanced Materials, Vol. 18 No.17, septiembre 2006.
F. Fonthal; T. Trifonov; A. Rodríguez; L.F.Marsal; J. Pallarès: AC Impedance análisis of Au/porous silicon contacts, Microelectronic Engineering; Ed. Elsevier, aceptado agosto 2006.
Miembros del grupo dedicados a MEMS
Luis Castañer, Angel Rodríguez, Joan Pons, Manuel Domínguez, Vicente Jiménez, Pablo Ortega, Francesc Masana, Sandra Bermejo
El grupo tiene 22 miembros. Las otras personas se dedican a otros dispositivos
Proyectos relacionados en curso:
Caudalímetro de aire ( P4)
Jamotrón ( FEDER)
Sensor de posición de luz ( P4)
Dispositivos para RF ( P4)
Excitación modo corriente de actuadores ( CICYT)